コーティング仕様

大型真空蒸着装置の性能仕様では次のように規定している
 アルミニウムのコーティングを施した場合に

 真空性能 x時間以内に10^-6 Torr
 成膜速度 20 angstrom / sec 以上

主鏡

副鏡

第3鏡