主なコーティング装置とその設置場所

SSH, Last updated July 2003

マウナケア山頂ドーム下部　

• ８．３ｍ用大型真空蒸着装置　 下釜台車は主鏡の洗浄台車としても使用，上釜上部にクリーンルーム
• 真空ポンプの種類　メカニカル・ブースター，クライオポンプ３台
• 使用する冷媒，ガス　液体窒素（タンクローリー），アルゴンガス，ヘリウムガス，窒素ガス，圧縮空気
• 大型鏡面洗浄装置
• 純水製造装置
• 使用する薬品の保管，可搬型局所排気装置
• セル台車(cell trolley)，主鏡運搬台車(M1 trolley)，主鏡吊治具， 主鏡ハンドリング装置
• 0.5トン・ホイスト
• ８０トンクレーン（ドーム上部）
• 廃液ピット，緊急用シャワー，洗眼シャワー

ヒロ，山麓施設　検出器実験室

• 50cm 小型真空蒸着装置　担当　倉上　　真空系，給電系，制御系
• 薬品取り扱い用排気フード（旧コンプレッサー室）　2000年8月末の設置完了を目指した．実態としては2001年4月より使用開始にこぎつけた．

三鷹，開発実験センター

• 1.6ｍ用中型真空蒸着装置
• 38cm小型真空蒸着装置
• 関連するもの　 特殊コーティング用スパッタリング装置